该厂为85英寸晶圆产出线配套方案的超蒸馏水系統,每星期诞生含硅废渣150吨。废渣中虽无高价属,但硅浓度高易积灰,且电阻器率需高于18MΩ·cm才可以使用。多余处里生产技术是无法符合新颁发的《电子厂工业品水环保问题物的排放出规则》(GB39731-2020)很的排放出允许值。
废污水组分特性
关键环保问题物
:橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、顆粒硅(比表面积0.1-1μm)
特色规定要求
:TOC<10μg/L,硼占比<5μg/L
水质检测性质
:低电阻率(<50μS/cm)但硅有机化合物状态比较复杂
操作施工工艺方法
特色化所采用"梯级膜溶合+电去铁离子"组合公式生产技术:
微滤预清理
:1μm陶瓷厂家膜阻止大粉末硅,通量维系80LMH
阳离子交互聚酯树脂
:D201大孔不饱和树脂会保护性离心分离硅酸大分子
二次元RO系统的
:独一段出售率60%,第二种段进行高脱硼膜电子器件
EDI电去化合物
:感应电流黏度2A/m²,持续不断去掉稳定度阴离子
UV紫外线消毒杀菌
:254nm太阳极为线含水量40mJ/cm²
水平创新举措
开放专业级阻硅剂(有机质胺类分手后复合物),推迟膜影响频次3倍
EDI组件自主创新流道设置,硅避开率提高至99.8%
在线播放硅分享仪(測量范围内0.1-500μg/L)保证 精准扶贫管理
进行举措
经其次方检侧:
总硅从280mg/L降低0.05mg/L
硼含碳量从8μg/L下降0.3μg/L
系统的收旧率从原40%不断提升至68%
膜换掉时间段拉长至5年,年正常运行人工成本下降35%